Vysávačje proces, ktorý sa používa na výrobu vysoko kvalitných materiálov s tenkými filmami. Vytvára tenké filmy tepelne odparovaním alebo rozprašujúcimi organickými alebo anorganickými materiálmi na povrch substrátu za vákuových podmienok. V tomto článku sa podrobne zavedie implementácia vákuového povlaku.
Proces vákuového náteru obsahuje nasledujúce kroky:
1. Vyberte pravý substrát a materiál
Výber správneho substrátu a materiálu je prvým krokom vo vákuovom povlaku. Substrátom môže byť sklo, plast, kov alebo iné nanomateriály. Materiály môžu byť organické alebo anorganické, ako sú kovy, polovodiče, oxidy alebo nitridy.
2. Vložte systém na povlaky vákua
Druhým krokom je načítať substrát a materiály do systému vákuového poťahovania. Systém vákuového poťahovania obsahuje vákuovú komoru, kovový odparovač, rozprašovanie a riadiaci systém. Vákuová komora je uzavretý priestor, ktorý sa používa na udržanie vákuového prostredia, kovové výpary a sputtery sú zariadenia používané na odparovanie alebo rozprašovanie materiálov na substráty a riadiaci systém sa používa na monitorovanie a úpravu vákuového prostredia a odparovania alebo rýchlosti rozprašovania materiálov.
3. Vákuum
Po naložení materiálu a substrátu by sa mala vákuová komora evakuovať. Vysávanie je veľmi dôležitým krokom, pretože udržiavanie prostredia s nízkym tlakom a vysokou čistotou môže zaručiť kvalitu membrány. Vákuové prostredie je zvyčajne pod 10^-6 mbar na vylúčenie molekúl plynu a iných znečisťujúcich látok.
4. Odparovanie alebo propagovanie materiálu
Keď vákuové prostredie dosiahne požadovaný tlak, materiál sa môže odpariť alebo naprašovať na substrát. Existujú dve metódy odparovania materiálu: tepelné odparovanie a odparovanie elektrónových lúčov. Napruting má tiež dve metódy: naprachovanie magnetrónu a rozprašovanie oblúka. Ktorýkoľvek metóda sa používa, je potrebné kontrolovať odparovanie alebo rýchlosť rozprašovania a hrúbku filmu.
5. Vytvorte viacvrstvový film
Akonáhle je jednosmerná membrána vyrobená, je možné zostaviť viac vrstiev, aby sa vytvoril kompozit. Môžu sa použiť rôzne materiály a depozičné procesy, ako napríklad striedanie ukladania, viac ručnícke materiály a depozícia zónovaného.
6. Testovacia membrána kvalita
Posledným krokom je testovanie kvality membrány. Testy môžu okrem iného zahŕňať hrúbku, fyzikálne vlastnosti, optické vlastnosti a elektrické vlastnosti. Určite, či membránový materiál spĺňa požiadavky podľa výsledkov testu.
Stručne povedané, technológia vákuového poťahovania je metódou na dosiahnutie vysokokvalitných tenkých filmov. Musí zvoliť príslušný substrát a materiál, načítať systém vákuového poťahovania, vysávať, odparovať sa alebo naprašovať materiál, robiť viacvrstvový film a testovať kvalitu filmu. Technológia vákuového náteru sa široko používa v elektronike, optike, lekárskych a energetických odboroch.